光源产生稳定的160-400nm的输出光谱。其峰-峰稳定性小于0.005%，漂移仅为+/-0.5%每小时。
主要特点：
深紫外覆盖。覆盖范围是160－400nm。
性能 。峰-峰稳定性小于0.005%的 稳定光源输出。
主要应用：
半导体检测、薄膜厚度测量、静电去除器、光谱学、环境计量、
光学元件检测、材料抗紫外性测试和激发光源等。
光学系统：
光谱数据：
| | |
|
光谱曲线1（MgF2窗口） |
光谱曲线2（硅、紫外玻璃） |
光稳定性
技术参数：
| 功率: | 830 mA @ 230 VDC |
| 波长范围: | 190-400 nm (深紫外灯) |
| 峰－峰稳定性: | <0.005% at 230 nm |
| 漂移: | +/-0.5% per hour at 230 nm |
| 40 分钟 | |
| 电压和电流: | Ignition 350V/20 A operating 85 V/0.3A |
| 灯泡寿命: | 1,000 小时 |
| 工作温度: | 5 ℃ - 35 ℃ |
| 湿度: | 5-95%无冷凝 40 ℃ |
| 辐射特性: | 0.5mm缝，数字狭缝26度（13度） |
